実験室1
新型自動X線回折装置

機能性材料の非破壊による格子定数、結晶化度、物質同定、定量および 定性分析に使用する。
微細加工用エキシマレーザ

レーザによるセラミックス、高分子材料、金属等のミクロン・メートルオーダーの 微細加工により各種デバイス、マイクロマシン等を創製するために使用する。
真空蒸着装置
 (超伝導性薄膜製造装置)


加熱蒸発により金属ならびに半導体薄膜の作成を行う。
RFインピーダンスアナライザー

先端材料の1MHz〜1.8GHzの高周波数領域の電気伝導度、誘電率、 透磁率の測定・評価に使用する。
RFスパッタリング装置

高周波スパッターリングにより酸化物、金属の薄膜を作成する。
赤外線加熱単結晶製造装置

高融点機能性材料の合成と結晶作成に使用する。