クリーンルーム2
電子線描画装置

半導体、金属、超伝導材料等の微細加工やマイクロデバイスおよび マイクロマシンの作成に使用する。
顕微ラマン分光装置

レーザー分光法による先端デバイス材料の構造、物性研究に使用する。
走査型プローブ顕微鏡(SPM)装置

物質表面の形態や電位、磁気力分布等をナノスケールの分解能で観察する。