微細加工用エキシマレーザ装置

微細加工用エキシマレーザ装置

仕様  Lambda Phisics社 COMPex102、Exitech社 PS-2000B

本装置はエキシマレーザ装置と微細加工用光学系から構成されている。また、被加工物を固定するX-YおよびZステージ分解能はそれぞれ 0.1μm、0,5μmであり、コンピュータ・コントロールが可能である。

設置場所:SVBL実験室1

管理者:早乙女康典 saotome@me.gunma-u.ac.jp

分類
A. 材料作成、微細加工
更新日
2005/01/21