レーザアブレーション装置

仕様  「微細加工用エキシマレーザ装置」のレーザを共用し、その他は自作。

レーザ光源:KrFエキシマレーザ、波長:248nm、1〜20Hz、MAX 350mJ/pulse
集光レンズ:UVFS平凸レンズ(F=50cm)
基板ホルダー  :10mm×20mm
ターゲットホルダ:1 inchφ
基板ヒーター  :Taヒーター、250℃
チャンバー真空度:3×10^(-6)Torr
ターゲット制御 :自転制御

設置場所:SVBL実験室1

管理者:早乙女康典 saotome@me.gunma-u.ac.jp

分類
A. 材料作成、微細加工
更新日
2005/01/21